Орел

ОПИСАНИЕ

Стационарный рентгеновский комплекс контроля изделий микроэлектроники  «ОРЕЛ» предназначен для технологического контроля микроэлектронных изделий и позволяет выявлять основные виды дефектов и изменения в конструкции электронных блоков.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

• динамический контроль объектов размерами до 508х508 мм с геометрическим увеличением до 200раз;
• послойная визуализация объектов контроля методом цифровой ламинографии;
• автоматизированный анализ результатов контроля, включая поиск и идентификацию дефектов и отбраковку изделий;
• электронная база данных по технологическим картам контроля и типам дефектов;

ДОПОЛНИТЕЛЬНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

ОСОБЕННОСТИ

• оригинальная конструкция всех узлов комплекса;
• высокостабильный микрофокусный источник излучения; - цифровой рентгеновский преобразователь с высоким пространственным разрешением;
• биологическая защита в соответствии с требованиями НРБ; - относительно низкая стоимость комплекса.

Ссылки по теме:

• Статья "ОРЕЛ – комплекс для контроля изделий микроэлектроники с использованием рентгеновского излучения"
  ("Контроль и диагностика" (№2, 2007 г.))
• Статья "«ОРЕЛ» — комплекс для контроля изделий микроэлектроники"
  ("Технологии в электронной промышлености" (№ 2, 2006))

 Посмотреть описание изделия в формате PDF:
  Орел